高溫爐的安全操作規程
發布日期：2017-12-14 瀏覽次數：
1、檢查電源線接觸是否良好
2、檢查連接線是否正常
3、檢查冷卻水是否正常
4、檢查密封性是否正常
5、準備所需工具：無塵紙、無水酒精、帆布手套、作業手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
二開爐
1、打開主電源開關
2、向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板
3、將輸送車開關打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 。石墨坩堝，依次放置于石墨推車上輸送車開關.
4、清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物
三裝料
1、將石墨坩堝放置于輸送車平臺上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。
2、拔出限位桿，輸送車開關打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內，并確定輸送車會到初始位置。
3、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關緊爐門
四 抽氣
1、檢查爐門是否關緊，真空系統是否密封
2、置 DP 按鈕于 DP ON，打開干式真空泵，打開真空計開關 P1G1，打開干式真空泵 。閥門，開始抽氣測試泄漏率，
3、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
d. 加熱 先打開水環泵 再按 RUN，開始工藝加熱。
五.冷卻
1、加熱結束后，按工藝條件進行冷卻；
2、爐內溫度降低至 200℃以下，壓力達到一個大氣壓后才可打開爐門，繼續冷卻。
3、完全冷卻至室溫后，將輸送車開關打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕，取出石墨坩堝，取出硅料，并進行分裝。
4、清掃爐體后關閉爐門，將爐體抽成負壓。
5、清理并妥善放置其它附屬物件。
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